Reinheitskontrolle in Reinräumen der Halbleiterfertigung
Mobiles
Spektrometer für
Air Borne Molecular Contamination (AMC) Monitoring
Mit der Tiger-i Baureihe
stehen jetzt Analysatoren zur online Erfassung der luftgetragenen Kontaminationen (AMC, Airborne Molecular Contamination) zur Verfügung. Das AMC Monitoring gewinnt bei der Produktion von Halbleitern zunehmend an Bedeutung.
AMC Kontamination
rücken durch die Verkleinerung der Strukturen infolge der hierdurch verursachten Defekte bei der Halbleiterherstellung immer mehr in den Focus.
AMC Kontaminationen der Gaskomponenten HF, NH3 und HCl können bereits im unteren ppb-Bereich Schäden an Leiterbahnen oder Fehler in der Photolithographie hervorrufen.
Die klassischen Methoden mit einer Probenahme über einen längeren Zeitraum ermöglichen generell den Nachweis dieser AMC Kontamination, bieten aber nicht die für eine Zuordnung zu Ereignissen oder Verfahrensschritten notwendige zeitliche Auflösung.
Online und mobil
Die bereits zur Messung der Feuchtekontamination in den Versorgungsgasen eingesetzten Tiger Optics Spektrometer arbeiten hingegen online, sodass ein Anstieg der
AMC Kontamination direkt erfasst wird und die Ursache eingegrenzt werden kann.
Das Messverfahren
Das patentierte Verfahren der CRDS (Cavity-Ring-Down-Spectroscopy) Spektroskopie basiert auf der Absorption von Laserlicht durch die zu erfassende Gasspezies, eine Zelle mit hochreflektiven Spiegeln ermöglicht Messpfade von vielen Kilometern und damit eine Auflösung im unteren ppb- und oberen ppt-Bereich. Die Methode ist schnell, selektiv und hat eine gute Reproduzierbarkeit. Der Einsatz einer radioaktiven Quelle wird vermieden.
Im Einsatz
Die Überprüfung kann über eine Verstimmung der Wellenlänge erfolgen, es sind keine Prüfgase erforderlich.
Die Geräte besitzen einen internen Datenspeicher, sind transportabel und können vor Ort ohne eine vorherige Eichung eingesetzt werden.
Typische Messstellen sind direkt im Reinraum sowie vor und nach den HEPA Filtern. An den HEPA Filtern können z. B. durch zu hohe HF Konzentrationen problematische Bor Emissionen auftreten, eine verlässliche HF-Messung ermöglicht hier präventive Maßnahmen.
Quelle : Pressemitteilung Bernt GmbH 2/2013 |
