Mit den Spektrometern der HALO-Baureihe stehen dem Anwender einfach zu handhabende Analysatoren zur Bestimmung der Spurenfeuchte in Rein- und Reinstgasen zur Verfügung
Das Messprinzip
beruht auf der Absorption von Licht durch die Wassermoleküle, als Lichtquelle wird ein Diodenlaser eingesetzt. Im Gegensatz zu den bekannten TDLS Spektrometern wird jedoch nicht der absorbierte Anteil des Lichtes direkt bestimmt, sondern die Zeitspanne, die nach dem Deaktivieren der Laserlichtquelle bis zum Abklingen des Laserlichtes in der Messzelle vergeht. Das patentierte Verfahren wird daher auch „Cavity Ring Down Spectroscopy / CRDS“ genannt.
Detektionsgrenzen im sub-ppb-Bereich
Durch die Verwendung von Spiegeln mit einer sehr hohen Reflektivität entsteht ein optischer Pfad von vielen Kilometern, womit Detektionsgrenzen im sub-ppb-Bereich erzielt werden können.
Nullpunkt
Die Justage des Nullpunktes erfolgt über eine Verstimmung der Wellenlänge, dieses kann ohne Gaswechsel, Nullgase oder Kalibratoren erfolgen. Es ist damit möglich, das Messgerät bei laufendem Betrieb einfach und schnell zu überprüfen.
Konzentrationsbereich
Aufgrund des linearen Verfahrens ist ein sehr großer Konzentrationsbereich erfassbar, z. B. 2 ppb H2O bis 20 ppm H2O bei dem HALO-Spektrometer in der Standardausführung
Anwendungen
Mit dem HALO-Spektrometer ist die Analyse
- passiver,
- inerter,
- O2-haltiger, aber auch
- korrosiver Gase,
- Fluoride und
- Hydride möglich.
Die HALO-Geräte werden z. B. in Luftzerlegern, Anlagen zur Gasreinigung- und -versorgung, zur Abfüllung von Flaschen oder Tankwagen, Überwachung von Versorgungsgasen in der Halbleiterproduktion oder Laboranwendungen eingesetzt.
Durch einen kontinuierlichen on-line-Betrieb
und einen einfachen Gasweg zählt das CRDS-Verfahren zu den schnellsten Messverfahren im Spurenbereich. Im Betrieb sind keine Verbrauchsmaterialien oder periodisch zu tauschende Komponenten erforderlich.
Quelle : Pressemitteilung Bernt GmbH |